膜厚傳感器是非接觸/接觸式測量物體表面薄膜、鍍層、涂層厚度的核心傳感元件,廣泛用于實驗室材料表征、半導體晶圓鍍膜、五金電鍍檢測、玻璃涂層、電池極片涂層、精密零件鍍層檢測等場景,是各類實驗室檢測儀器的核心配套傳感部件,精度從納米級到毫米級,不同原理適配不同檢測需求。
膜厚傳感器的工作原理多種多樣,主要取決于其使用的技術類型,包括但不限于以下幾種:
光學干涉原理:當一束光波照射到薄膜表面時,會在薄膜表面和底部之間形成多次反射和透射,產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。通過測量反射和透射光波的相位差,可以計算出薄膜的厚度。這種方法通常采用反射法或透射法,其中反射法是通過測量反射光波的相位差來計算薄膜厚度,而透射法則是通過測量透射光波的相位差來實現(xiàn)。
電磁學原理:一些膜厚傳感器采用磁感應和電渦流原理。磁感應測量儀利用測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通大小來測定覆層厚度。電渦流測量儀則是通過高頻交流信號在測頭線圈中產(chǎn)生電磁場,當測頭靠近導體時,形成渦流,渦流的大小與測頭與導電基體之間的距離有關,從而可以測量非導電覆層的厚度。
超聲波測量:超聲波傳感器通過發(fā)射超聲波脈沖并接收其反射信號來測量厚度。超聲波在材料中傳播的速度是已知的,通過計算發(fā)射和接收信號的時間差,可以計算出材料的厚度。這種方法適用于金屬、塑料、玻璃等多種材料,且無需接觸被測物體。