華中科技大學聯(lián)合武漢頤光科技科技有限公司開發(fā)的“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏測量關(guān)鍵技術(shù)與納米測量應用”項目榮獲湖北省技術(shù)發(fā)明一等獎。此獎項由省人民政府設(shè)立，經(jīng)省科學技術(shù)獎勵評審委員會評審、省科學技術(shù)獎勵委員會審議，湖北省人民政府決定后終授予，旨在深入實施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略，建設(shè)創(chuàng)新強省，獎勵為省科技事業(yè)進步、經(jīng)濟社會發(fā)展作出突出貢獻的科學技術(shù)人員和組織。
穆勒矩陣橢偏儀廣泛應用于IC制造、平板顯示、光電子器件、光伏太陽能、柔性電子等國家新興戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)中的納米材料、納米結(jié)構(gòu)與納米器件的基礎(chǔ)科學研究、制造工藝優(yōu)化、量產(chǎn)在線監(jiān)測等諸多環(huán)節(jié)，在*具有戰(zhàn)略意義。
“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏測量關(guān)鍵技術(shù)與納米測量應用”項目所研發(fā)的穆勒矩陣橢偏儀代表了橢偏儀技術(shù)的高水平，其研制過程主要面臨寬光譜全穆勒矩陣偏振調(diào)制技術(shù)、穆勒矩陣橢偏測量系統(tǒng)參數(shù)精密校準與誤差修正技術(shù)、復雜納米結(jié)構(gòu)薄膜橢偏測量理論與方法三個方面的技術(shù)挑戰(zhàn)，由華中科技大學與武漢頤光科技有限公司歷時10余年攻克技術(shù)難關(guān)，在*國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項、國家863計劃、國家自然科學基金等多個*項目支持下，通過原理創(chuàng)新，成功研制出我國*臺具有*自主知識產(chǎn)權(quán)的高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏儀，實現(xiàn)了成果轉(zhuǎn)化與產(chǎn)業(yè)化。
